處理芯片生產(chǎn)線潔凈室。電子器件凈化車間潔凈室和硬盤生產(chǎn)制造生產(chǎn)車間是電子生產(chǎn)制造潔凈室的關(guān)鍵構(gòu)成部分。電子商品的具體目的是操縱顆粒物和塵土，并嚴(yán)苛要求其自然環(huán)境的溫度和環(huán)境濕度，由于他們?cè)谏a(chǎn)和生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)環(huán)境自然環(huán)境和品質(zhì)有著極為嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?guī)定。

一、半導(dǎo)體潔凈工業(yè)廠房?jī)艋O(shè)備主要參數(shù)規(guī)范：

1.半導(dǎo)體電子千級(jí)潔凈室噪音級(jí)(空態(tài))：不得超過65dB(A)

2.半導(dǎo)體電子潔凈室的豎直流動(dòng)潔凈室不小于60%，水準(zhǔn)單向流動(dòng)潔凈室不可低于40%，不然為部分單向流動(dòng)。

3.潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)中間的負(fù)壓差不可低于5pa，半導(dǎo)體電子潔凈廠與戶外負(fù)壓差不可低于10pa。

4.電子加工制造業(yè)千級(jí)潔凈室的較大氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)：

5.對(duì)房間內(nèi)排量開展賠償，內(nèi)正壓力需要的清新空氣量。

6.保證每鐘頭清新空氣量不小于40m3的凈化車間潔凈室。

7.電子加工制造業(yè)潔凈室空調(diào)機(jī)組電加熱器應(yīng)配置清新空氣。過熱開關(guān)電源維護(hù)。假如點(diǎn)增濕，應(yīng)設(shè)定沒有水維護(hù)。在嚴(yán)寒地域，家用新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采用防寒對(duì)策。

二、半導(dǎo)體潔凈工業(yè)廠房?jī)艋O(shè)備的規(guī)定：

1.應(yīng)詳細(xì)說明ISO與占有情況有關(guān)的級(jí)別，隨后才可以明確最好設(shè)計(jì)方案標(biāo)準(zhǔn)。

2.表格中的氣流種類表明潔凈室的氣流特點(diǎn)：U=單向流動(dòng)；N，非單向流動(dòng)；M=混和流動(dòng)種類(U和N的混和)。

3.潔凈室的單向流動(dòng)種類一般選用均值氣流速率。單向氣流速度的要求在于可控室內(nèi)空間的形態(tài)和熱氣環(huán)境溫度。渾濁設(shè)備的前風(fēng)力并非指單向總流量。

4.非單向流動(dòng)和混和流動(dòng)選用每鐘頭自然通風(fēng)頻次。樓層高度3.Om的售賣室適用企業(yè)總面積送排風(fēng)量最佳值。

5.應(yīng)采用嚴(yán)苛的密閉對(duì)策。

6.合理分離出來污染物和待自然保護(hù)區(qū)：可以應(yīng)用硒板或氣流天然屏障。