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半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

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用于生產(chǎn)電子產(chǎn)品的無(wú)塵車(chē)間,是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi),而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)建造的生產(chǎn)車(chē)間。即是具有無(wú)論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。

一.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間噪聲等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)塵車(chē)間噪聲控制標(biāo)準(zhǔn)
無(wú)塵車(chē)間的噪聲等級(jí)應(yīng)滿(mǎn)足以下要求:
1.動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí),潔凈廠房的噪聲水平不得超過(guò)65分貝A。
二、空態(tài)試驗(yàn)時(shí),亂流潔凈廠房的噪聲等級(jí)不應(yīng)大于58分貝A,層流潔凈工廠的噪聲水平不得大于60分貝A。
三、無(wú)塵車(chē)間的平面、剖面布置,應(yīng)考慮噪聲控制的要求,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔音性能,并應(yīng)使各部分隔音量接近。
4.無(wú)塵車(chē)間的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過(guò)潔凈廠房允許值的設(shè)備,應(yīng)設(shè)置專(zhuān)用隔音設(shè)施(如隔音室、隔音罩等)。
5.當(dāng)凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的噪聲超過(guò)允許值時(shí),應(yīng)采取隔音、消聲、隔音、振動(dòng)等控制措施。除事故排氣外,潔凈廠房的排氣系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行降噪設(shè)計(jì)。
vi號(hào)。無(wú)塵車(chē)間的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求,潔凈車(chē)間的凈化條件不得受到噪聲控制的影響。

半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖 半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖
   

二.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間防火疏散標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)塵車(chē)間防火疏散標(biāo)準(zhǔn) 
一、潔凈廠房耐火等級(jí)不低于二級(jí)。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體,其耐火極限不應(yīng)小于0.25小時(shí)?!?br /> 二、無(wú)塵車(chē)間一般生產(chǎn)車(chē)間的火災(zāi)危險(xiǎn)性,可按附錄三進(jìn)行分類(lèi)?!?br /> 3.甲、乙類(lèi)生產(chǎn)的潔凈廠房應(yīng)采用單層廠房。防火墻是最大的允許面積,單層廠房應(yīng)為3000平方米,多層廠房應(yīng)為2000平方米?!?br /> 4.在甲、乙類(lèi)生產(chǎn)環(huán)境中潔凈廠房設(shè)置在甲、乙類(lèi)生產(chǎn)環(huán)境中,其天花板和墻板(含內(nèi)部填充物)應(yīng)為非燃燒體。
5、在防火區(qū)的綜合廠房?jī)?nèi),應(yīng)在潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)之間設(shè)置非燃燒體隔墻,并將其封閉至頂部。當(dāng)隔墻及其相應(yīng)屋面的耐火極限不小于1時(shí),隔墻上門(mén)窗的耐火極限不小于0.6小時(shí)。非燃燒材料應(yīng)緊密填充穿過(guò)隔墻或屋面的管道周?chē)拈g隙?!?br /> 6、技術(shù)豎井的井壁應(yīng)為非燃燒體,其耐火極限不得小于1小時(shí)。井壁檢查門(mén)的耐火極限不得小于0.6小時(shí);在每層或一層地板上,應(yīng)使用相當(dāng)于地板耐火極限的非燃燒體進(jìn)行水平防火分離;非燃燒材料應(yīng)通過(guò)水平防火分離管道周?chē)拈g隙緊密填充。 
7.無(wú)塵車(chē)間各生產(chǎn)層、各防火分區(qū)或各潔凈區(qū)的安全出口數(shù)量不得少于兩個(gè)?!?br /> 九、無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)裝修 
1.無(wú)塵車(chē)間的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修應(yīng)選用氣密性好的材料,在溫度和濕度變化的作用下變形較小。當(dāng)需要增加結(jié)構(gòu)框架和保溫層時(shí),墻體裝飾。應(yīng)使用非燃燒體或不燃體?!?br /> 二、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)墻體和天花板表面應(yīng)符合平整、光滑、無(wú)灰、避免眩光、便于除塵的要求;凹凸面應(yīng)減少,陰陽(yáng)角應(yīng)做成圓角。室內(nèi)裝修應(yīng)用于操作;如果是抹灰,應(yīng)使用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)?!?br /> 3.無(wú)塵車(chē)間的地面應(yīng)滿(mǎn)足平整、耐磨、易除塵、不易積聚的要求,如靜電、眩光、舒適等。 
4、無(wú)塵車(chē)間技術(shù)夾層的墻壁和天花板應(yīng)抹灰。如果需要在技術(shù)夾層中更換高效空氣過(guò)濾器,則應(yīng)添加涂層飾面。地面、回風(fēng)溝和地下技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)管和回風(fēng)溝的內(nèi)表面裝飾標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)適用于整個(gè)送風(fēng)和回風(fēng)系統(tǒng),并于除塵?!?br /> 五、潔凈廠房和人員凈化室設(shè)置的外窗,應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗,并應(yīng)具有良好的氣密性。 
6.潔凈廠房?jī)?nèi)的封閉門(mén)應(yīng)朝向空氣潔凈度較高的房間開(kāi)啟。觀察窗應(yīng)設(shè)置在無(wú)窗潔凈的密閉門(mén)上。

半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖 半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖
   

三.半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間無(wú)塵車(chē)間等級(jí)劃分

(1)1級(jí):1級(jí)的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
(2)10級(jí): 十級(jí)的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
(3)100級(jí):百級(jí)無(wú)塵車(chē)間并非無(wú)菌室,百級(jí)無(wú)塵車(chē)間對(duì)“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要嚴(yán)格,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一無(wú)塵車(chē)間大量應(yīng)用于植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
(4)1000級(jí):千級(jí)的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
(5)10000級(jí):萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
(6)100000級(jí):十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間。
(7)300000級(jí)別:三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間級(jí)別較低,用于普通潔凈區(qū),如級(jí)別不高的走道。

半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖 半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間效果圖
   

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