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無塵室等級等級標(biāo)準(zhǔn)是如何定義

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用戶在向供應(yīng)商開放無塵室時,有以下提示。
一是等級定義模式如下:
(atyμm)
X是無塵室的等級,如100或10000等,Y是0.2μm、0.5μm等粒徑,可重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無塵室的顆粒含量必須在這些粒徑中達(dá)到該等級的限制。這可以減少爭端,以下是幾個例子:
Clas1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
Class100(0.2μm,0.5μm)
Class1002μm,0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100,1000,10000...),一般看一個粒徑。在Classeslessthan100(M3.5)(Class10,1..),一般要看多少粒徑。
第二個技巧是規(guī)定無塵車間的狀態(tài),例如:
Classx(atyμm),At-rest。
供應(yīng)商很清楚,無塵室應(yīng)在At-rest狀態(tài)下進(jìn)行驗(yàn)收。
第三個技巧是自定義顆粒濃度上限。一般來說,As-built時,無塵室非常干凈,顆粒控制能力測試不容易。此時,可以簡單降低驗(yàn)收上限,如:
Class1000(0.3μm=10000),As-built。
Class1000(0.5μm=1000),As-built。
這樣做的目的是保證無塵室在Operational狀態(tài)下,仍有足夠的顆粒控制能力。
以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義,以及ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E潔凈度定義。

ISO-14644潔凈度定義。

對比以上兩表,我們可以看到。
雖然209E的公制和英制有兩套標(biāo)準(zhǔn)可以互換,但一眼就很難看出它們的相關(guān)性。兩個系統(tǒng)放在同一張桌子上,徒然造成混淆。
在兩個表中,0.5mm幾乎出現(xiàn)在每個等級定義中,表示粒徑0.5mm的粒子非常有代表性。
在潔凈度分類上,ISO-14644的范圍比209E更廣,無論是高潔凈度還是低潔凈度。

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