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半導體無塵室設計標準

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無塵室通風的設計

1、無塵室空調通風系統(tǒng)帶走無塵室的余熱、 余濕, 或補給車間所需的熱量、 濕量, 來維廠無塵室的設計溫度、 濕度。 這一點和其它空調系統(tǒng)是一致的, 也是主要任務之一。
2、無塵室空調通風系統(tǒng)保證供給無塵室足量的潔凈空氣的稀釋、排除車間在生產過程中,由于人員和工藝所污染的空氣, 使車間的含塵、 菌濃度達到所規(guī)定的潔凈等級。
3、無塵室空調通風系統(tǒng)補給足量的凈化空氣稀釋車間的有害物濃度,如工藝過程中散發(fā)的易燃、 易爆有機溶劑和有害氣體,以確保車間空氣中的有害物濃度低于相關標準所規(guī)定的最高容許濃度。
4、無塵室空調通風系統(tǒng)供給無塵室充足的室外新鮮空氣, 使車間的空氣品質, 符合人們正常工作所需的衛(wèi)生標準。
5、無塵室空調通風系統(tǒng)根據工藝要求, 通過送、 回、 排風量的不同匹配, 以維持車間相對于室外或鄰室, 或走道一定的正壓值或負壓值。 以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。
6、采取相應的隔離、 局部排風等措施, 防止工藝產生的粉塵、 大量余熱、 余濕等有害物在車間擴散。
7、設置必要的分離、 收集裝置, 既防止由無塵室排出去的有害物質污染大氣, 又可回收部分排風帶走的可利用藥塵。

無塵室空調系統(tǒng)的設計

無塵室潔凈空調系統(tǒng)設計根據無塵室面積、凈化等級及無塵室需求確定。
 潔凈空調系統(tǒng)工作流程:室外新風經過初效過濾器過濾后,與無塵室回風混合,再經冷卻、除濕、加熱、加濕后通過送風機將處理過的空氣經中效和高效過濾送入無塵室,完成空氣熱濕處理和過濾循環(huán),使無塵室保持設計的溫濕度和潔凈度。組合式空調機組一般包括新回風混合段初效、加熱、表面冷卻、加濕、風機、消聲、中效過濾、出風等功能段。空氣經組合空調機組處理后送入室內,室內氣流組織采用頂送下側回/排的送、回、排風方式。無塵室主要是通過潔凈空調的循環(huán)來過濾空氣中的塵埃,實現對空氣中粒子的控制,達到潔凈度等級,因此需要足夠的風量循環(huán)來保證室內潔凈度。根據《無塵室設計規(guī)范》和《醫(yī)藥工業(yè)空調系統(tǒng)設計規(guī)范》規(guī)定D級潔凈區(qū)的換氣次數設計為不小于15次/h,對于局部爆炸危險區(qū)換氣次數為25次/h。

 

無塵室凈化系統(tǒng)設計

無塵室室內氣流倒灌,為防止室外氣流倒灌。防止無塵室的凈化空調系統(tǒng)停止運行時,室外空氣倒灌流入室內,引起污染和沉積。工程中常用的防倒灌措施是:
  ①采用設置中效過濾器,這種方式結構簡單、維護方便;
  ②采用止回閥,使用方便,但密閉性較差;
  ③采用密閉閥,密閉性好,但結構復雜,管理不便;
  ④采用自控裝置。
  2 含有易燃、易爆局部排風系統(tǒng)的防火防爆。
  3 排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時,應進行無害化處理。
  4 對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統(tǒng),應設坡度及排放口。無塵室內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間,應采取通風措施,其室內的靜壓值,應低于潔凈區(qū)。

光電子技術 有機化學實驗室的等級標準
百級光電子無塵廠房 百級電子無塵車間
無塵廠房設計規(guī)范 無塵廠房設計要求
百級光電子無塵室立柱 光電子無塵廠房生產情況
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