千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室是指在一定的空間范圍內(nèi)排除空氣中的微粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，并排除室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動(dòng)和照明。靜電控制在一定的需求范圍內(nèi)，并提供一個(gè)特殊的設(shè)計(jì)室。也就是說，無論外部空氣條件如何變化，其室內(nèi)都可以具有保持原有設(shè)定要求的清潔度、溫度、濕度和壓力的特點(diǎn)。

一、半導(dǎo)體潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

千級(jí)潔凈區(qū)

清潔實(shí)際操作區(qū)的溫度應(yīng)為20-24℃。

清潔實(shí)際操作區(qū)域的氣體相對(duì)濕度應(yīng)為45%-60%

房間換風(fēng)次數(shù)：每h25次。

壓差：B級(jí)室外相對(duì)性≥10Pa，根據(jù)旋風(fēng)流入，同級(jí)差區(qū)應(yīng)保持一定的壓差。

超過99.97%的高效送風(fēng)口泄漏

光強(qiáng)：>300lx-600lx。

噪聲:≤75db(動(dòng)態(tài)檢測)

二、千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室設(shè)計(jì)依據(jù)。

1.GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》。

3.GB55022-1995《建筑內(nèi)部裝飾設(shè)計(jì)防火規(guī)范》。

4.GB50016-2006《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》。

5.JGJ71-1990《千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

6.GB550243-2002《通風(fēng)空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

7.GB/T5011-2001《暖通空調(diào)制圖標(biāo)準(zhǔn)》。

8.GB5015-1992《采暖通風(fēng)和空調(diào)術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)》。

9.GB50052-1995，《供配電設(shè)計(jì)規(guī)范》。

10.GB50053-1993《通用電配電設(shè)計(jì)規(guī)范》。

11.GB550295-1996《電氣安裝工程電氣照明設(shè)備施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

12.GB/T14295-1993《空氣過濾器》。

13.GB/T13554-1992《高效過濾器》。

14.GB50019-2003《采暖通風(fēng)與空調(diào)設(shè)計(jì)規(guī)范》。

三、施工標(biāo)準(zhǔn)為千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室。

墻體安裝：
凈化彩鋼板墻體施工將徹底清潔室內(nèi)地板、立柱、墻壁和空間，達(dá)到清潔無塵。工藝分為吊頂安裝和墻板安裝。

吊頂安裝:
現(xiàn)場準(zhǔn)備-測量放線-吊頂開孔-支撐吊架龍骨安裝.調(diào)整-吊頂安裝.防護(hù)口安裝-風(fēng)口安裝-燈具底板安裝-燈具安裝-撕膜.清潔.涂膠-空氣吹掃.清潔-高效過濾器安裝。

墻板安裝:
現(xiàn)場準(zhǔn)備-測量放線-墻板龍骨安裝-各種專業(yè)預(yù)埋件-門窗.風(fēng)淋室安裝-撕膜.清潔.膠水-空氣吹掃-回風(fēng)百葉窗安裝。

安裝通風(fēng)管道：

千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室施工的安全規(guī)范有哪些：千級(jí)半導(dǎo)體潔凈室施工的施工重點(diǎn)有哪些，清潔風(fēng)管的制造.搬運(yùn).安裝是保證清潔度的關(guān)鍵。

在施工過程中，很多施工人員都會(huì)注意到清潔系統(tǒng)安裝的特殊要求，即：清潔安裝位置；系統(tǒng)安裝清潔（塑料薄膜密封）；現(xiàn)場安裝人員穿著干凈；選擇不產(chǎn)生灰塵的材料；接縫應(yīng)緊密，以防止漏氣等。然而，仍有幾點(diǎn)需要注意：

1.接縫：不允許管道有橫向接縫，縱向接縫也應(yīng)盡量少，當(dāng)?shù)走呅∮诘扔趍m時(shí)，底邊也不允許有縱向接縫；

2.咬傷：應(yīng)盡量使用聯(lián)合角或角度咬合，6級(jí)以上的潔凈風(fēng)管不得使用按扣式咬合；

3.密封：所有咬合縫.法蘭翻邊和鉚釘必須涂上密封膠，防止漏氣；嚴(yán)禁在各種密封墊片上涂上油漆；

4.鋼筋：管內(nèi)不允許設(shè)置；

5.法蘭：四角設(shè)有螺釘孔，孔距小于，螺釘.螺母.墊片和鉚釘均應(yīng)鍍鋅；

6.測孔測量:如果管徑大于，應(yīng)設(shè)置清洗和各種孔洞測量；存儲(chǔ):制作后用中性清洗液清洗，干燥后用塑料薄膜密封；

7.拆封：只允許在安裝過程中拆除管道端口密封膜，安裝中間停止時(shí)應(yīng)再次密封端口；

8.清洗:安裝風(fēng)管部件時(shí)，清除表面的油污和灰塵，并多次使用不易去除纖維的材料擦拭系統(tǒng)內(nèi)表面；

9.漏氣檢查：系統(tǒng)安裝后，保溫前進(jìn)行漏氣檢查。（1~5級(jí)系統(tǒng)按高壓系統(tǒng)風(fēng)管規(guī)定執(zhí)行，6~9級(jí)系統(tǒng)按中壓系統(tǒng)風(fēng)管執(zhí)行），可采用大于的低壓照明燈進(jìn)行漏光檢測。低壓系統(tǒng)每10米不超過2處，每米平均不超過16處；中壓系統(tǒng)每10米不超過1處，每米平均不超過8處。