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百級半導體無塵室設計

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無塵室空調系統的設計

1、無塵室凈化空調系統所控制的參數除一般空調系統的室內溫、濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數,并且溫度、濕度的控制精度較高,有的無塵室要求溫度控制在±0.1℃范圍內等。
2、凈化空調系統的空氣處理過程除熱、濕處理外,必須對空氣進簽訂初效濾、中間中效過濾、末端高效過濾等,高級別的無塵室為了有效、節(jié)能地對送入無塵室的空氣進行處理,采用集中新風處理,僅新風處理系統便設有多級過濾,需要嚴格需去除空氣中污染物分子時,還應設置各類化學過濾器。
3、無塵室的氣流分布、氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴散,減少二次氣流和渦流,使?jié)崈舻臍饬鞑皇芪廴?,以最短的距離直接送到工作區(qū)。
4、為確保無塵室不受室外污染或鄰室的污染,無塵室與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風量或一定的排風風量。
5、凈化空調系統的風量較大(換氣次數一般10次至數百次),相應的能耗就大,系統造價也就高。
6、凈化空調系統的空氣處理設備、風管材質和密封材料根據空氣潔凈度等級的不同都有一定的要求;風管制作和安裝后都必須嚴格按規(guī)定進行清洗、擦拭和密封處理等。
7、凈化空調系統安裝后應按規(guī)定進行調試和綜合性能檢測,達到所要求的空氣潔凈度等級;對系統中的高效過濾器及其安裝質量均應按規(guī)定進行檢漏等。

百級無塵室凈化系統設計

無塵室室內氣流倒灌,為防止室外氣流倒灌。防止無塵室的凈化空調系統停止運行時,室外空氣倒灌流入室內,引起污染和沉積。工程中常用的防倒灌措施是:
①采用設置中效過濾器,這種方式結構簡單、維護方便;
②采用止回閥,使用方便,但密閉性較差;
③采用密閉閥,密閉性好,但結構復雜,管理不便;
④采用自控裝置。
2 含有易燃、易爆局部排風系統的防火防爆。
3 排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時,應進行無害化處理。
4 對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統,應設坡度及排放口。無塵室內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間,應采取通風措施,其室內的靜壓值,應低于潔凈區(qū)。

 

百級無塵室通風的設計

1、無塵室空調通風系統帶走無塵室的余熱、 余濕, 或補給車間所需的熱量、 濕量, 來維廠無塵室的設計溫度、 濕度。 這一點和其它空調系統是一致的, 也是主要任務之一。
  2、無塵室空調通風系統保證供給無塵室足量的潔凈空氣的稀釋、排除車間在生產過程中,由于人員和工藝所污染的空氣, 使車間的含塵、 菌濃度達到所規(guī)定的潔凈等級。
  3、無塵室空調通風系統補給足量的凈化空氣稀釋車間的有害物濃度,如工藝過程中散發(fā)的易燃、 易爆有機溶劑和有害氣體,以確保車間空氣中的有害物濃度低于相關標準所規(guī)定的最高容許濃度。
  4、無塵室空調通風系統供給無塵室充足的室外新鮮空氣, 使車間的空氣品質, 符合人們正常工作所需的衛(wèi)生標準。
  5、無塵室空調通風系統根據工藝要求, 通過送、 回、 排風量的不同匹配, 以維持車間相對于室外或鄰室, 或走道一定的正壓值或負壓值。 以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。
  6、采取相應的隔離、 局部排風等措施, 防止工藝產生的粉塵、 大量余熱、 余濕等有害物在車間擴散。
  7、設置必要的分離、 收集裝置, 既防止由無塵室排出去的有害物質污染大氣, 又可回收部分排風帶走的可利用藥塵。

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