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萬級集成電路潔凈廠房設(shè)計裝修

來源:http:/// 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2022-11-28 16:40

萬級集成電路潔凈廠房設(shè)計裝修.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事集成電路潔凈廠房工程規(guī)劃,設(shè)計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
用于生產(chǎn)電子產(chǎn)品的潔凈廠房,是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi),而專門設(shè)計建造的生產(chǎn)車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。

萬級集成電路潔凈廠房

怎樣判斷醫(yī)院凈化工程是否達(dá)標(biāo)呢,要怎樣驗收呢?小編為了解答這個疑惑特別整理了醫(yī)院凈化工程的行業(yè)驗收標(biāo)準(zhǔn)。大家快來了解下吧
潔凈手術(shù)部(室)的施工,應(yīng)以凈化空調(diào)工程為核心,取得其他工種的積極配合。潔凈手術(shù)室施工可按如下程序進(jìn)行(其他輔助用房可參照此程序):
如圖:潔凈手術(shù)室施工程序圖
潔凈手術(shù)室施工程序圖
各道施工程序均要進(jìn)行記錄,驗收合格后方可進(jìn)行下道工序。施工過程中要對每道工序制訂具體施工組織設(shè)計
工程驗收
1、醫(yī)院的潔凈手術(shù)部(室)均應(yīng)按本節(jié)規(guī)定獨立驗收
2、凈化空調(diào)工程驗收,分竣工驗收和綜合性能全面評定兩個階段
3、驗收的內(nèi)容包括建設(shè)與設(shè)計文件、施工文件、施工記錄、監(jiān)理質(zhì)檢文件和綜合性能的評定文件等
4、潔凈手術(shù)部的其他設(shè)施,應(yīng)按設(shè)備說明書、合同書,由建設(shè)方對設(shè)備提供方和安裝方分別進(jìn)行驗收
工程檢驗
1、竣工驗收和綜合性能全面評定的必測項目應(yīng)符合表10.3.1的規(guī)定,其中風(fēng)速風(fēng)量和靜壓差應(yīng)先測,細(xì)菌濃度應(yīng)最后檢測
10.3.1醫(yī)院凈化工程竣工驗收必測項目表
通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量及轉(zhuǎn)數(shù)
系統(tǒng)和房間風(fēng)量及其平衡
系統(tǒng)和房間靜壓及其調(diào)整
自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)合運行
高效過濾器檢漏
潔凈度級別
級潔凈手術(shù)室手術(shù)區(qū)和級潔凈輔助用房局部百級區(qū)的工作面的截面風(fēng)速
其他各級潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房的換氣次數(shù)
靜壓差
所有集中送風(fēng)口高效過濾器抽查檢漏,Ⅰ級潔凈用房抽查比例應(yīng)大于50%,其他潔凈用房應(yīng)大于
溫濕度
噪聲
照度
新風(fēng)量
細(xì)菌濃度
2、不得以空氣潔凈度級別或細(xì)菌濃度的單項指標(biāo)代替綜合性能全面評定;不得以竣工驗收階段的調(diào)整測試結(jié)果代替綜合性能全面評定的檢驗結(jié)果
3、竣工驗收和綜合性能全面評定時的工程檢測應(yīng)以空態(tài)或靜態(tài)為準(zhǔn)。任何檢驗結(jié)果都必須注明狀態(tài)
4、竣工驗收的檢測可由施工方完成。綜合性能全面評定的檢測,必須由衛(wèi)生部門授權(quán)的專業(yè)工程質(zhì)量檢驗機(jī)構(gòu)或取得國家實驗室認(rèn)可資質(zhì)條件的第三方完成
5、工作區(qū)截面風(fēng)速的檢驗應(yīng)符合下列要求
換氣次數(shù)的檢驗應(yīng)符合下列要求
對級潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房應(yīng)通過檢測送風(fēng)口風(fēng)量換算得出換氣次數(shù),綜合性能檢測結(jié)果不應(yīng)小于表規(guī)定范圍的均值,并不應(yīng)超過此范圍上限的
對于分散布置的送風(fēng)口,對每個風(fēng)口用套管法檢測
靜壓差的檢驗應(yīng)符合下列要求
1、在潔凈區(qū)所有門都關(guān)閉的條件下,從平面上最里面的房間依次向外或從空氣潔凈度級別最高的房間依次向低級別的房間,測出有孔洞相通的相鄰兩間潔凈用房的靜壓差,綜合性能測定結(jié)果應(yīng)大于表4.0.1的規(guī)定值和符合4.0.2條的規(guī)定
2、測定高度距地面0.8m,測孔截面平行于氣流方向,測點選在無渦流無回風(fēng)口的位置。檢測儀器為讀值分辨率可達(dá)到1Pa的斜管微壓計或其他有同樣分辨率的儀表
潔凈度級別的檢驗應(yīng)符合下列要求
級潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房檢測前,系統(tǒng)應(yīng)已運行,其他潔凈房間應(yīng)已運行。在確認(rèn)風(fēng)速換氣次數(shù)和靜壓差的檢測無明顯問題之后,再檢測含塵濃度。對.和的微粒,檢測結(jié)果均應(yīng)同時滿足下列條件各測點平均含塵濃度中的最大值不大于表
2、當(dāng)送風(fēng)口集中布置時,應(yīng)對手術(shù)區(qū)和周邊區(qū)分別檢測,測點數(shù)和位置應(yīng)符合表10.3.82的規(guī)定;當(dāng)附近有顯著障礙物時,可適當(dāng)避開。當(dāng)送風(fēng)口分散布置時,按全室統(tǒng)一布點檢測,測點可均布,但不應(yīng)布置在送風(fēng)口正下方
3、每次采樣的最小采樣量:百級:區(qū)域為5.66L,以下各級區(qū)域為
4、測點布置在距地面0.8m高的平面上,在手術(shù)區(qū)檢測時應(yīng)無手術(shù)臺。當(dāng)手術(shù)臺已固定時,測點高度在臺面之上
5、在百級:區(qū)域檢測時,采樣口應(yīng)對著氣流方向;在其他級別區(qū)域檢測時,采樣口均向上
6、當(dāng)檢測含塵濃度時,檢測人員不得多于2人,都應(yīng)穿潔凈工作服,處于測點下風(fēng)向的位置,盡量少動作
7、當(dāng)檢測含塵濃度時,手術(shù)室照明燈應(yīng)全部打開
8、檢測儀器應(yīng)為流率不小于2.83L/min的光散射式粒子計數(shù)器
溫濕度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、夏季工況應(yīng)在當(dāng)?shù)孛磕曜顭嵩碌臈l件下檢測,冬季工況應(yīng)在當(dāng)?shù)孛磕曜罾湓碌臈l件下檢測
2、室內(nèi)溫濕度測定為距地面0.8m高的中心點,檢測結(jié)果應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。檢測儀器為可顯示小數(shù)后一位的數(shù)字式溫濕度測量儀。有溫濕度波動范圍要求的不適用本款的規(guī)定
3、測出室內(nèi)的溫濕度之后,應(yīng)同時測出室外溫濕度
噪聲的檢測應(yīng)符合下列要求
1、噪聲檢測宜在外界干擾較小的晚間進(jìn)行,以A聲級為準(zhǔn)。不足15m2的房間在室中心1.1m高處測一點,超過15m2的在室中心和四角共測5點,檢測結(jié)果應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。檢測儀器宜用帶倍頻程分析儀的聲級計
2、全部噪聲測定之后,應(yīng)關(guān)閉凈化空調(diào)系統(tǒng)測定背景噪聲,當(dāng)背景噪聲與室內(nèi)噪聲之差小于10dB時,室內(nèi)噪聲應(yīng)按常規(guī)予以修正
照度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、照度檢測應(yīng)在光源輸出趨于穩(wěn)定(新日光燈和新白熾燈必須已使用超過10h,舊日光燈已點燃15min,舊白熾燈已點燃5min),不開無影燈,無自然采光條件下進(jìn)行
2、測點距地面0.8m,離墻面0.5m,按間距不超過2m均勻布點,不刻意在燈下或避開燈下選點。各點中最小的照度值應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。對大型以上(含大型)手術(shù)室,應(yīng)校核照度均勻度,并符合規(guī)定
新風(fēng)量的檢測應(yīng)符合下列要求
1、新風(fēng)量的檢測應(yīng)在室外無風(fēng)或微風(fēng)條件下進(jìn)行
2、通過測定新風(fēng)口風(fēng)速或新風(fēng)管中的風(fēng)速,換算成新風(fēng)量,結(jié)果應(yīng)在室內(nèi)靜壓達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的前提下,不低于表4.0.1的規(guī)定
細(xì)菌濃度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、細(xì)菌濃度宜在其他項目檢測完畢,對全室表面進(jìn)行常規(guī)消毒之后進(jìn)行。表面染菌密度為監(jiān)測項目,按《醫(yī)院消毒衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB15982的方法檢測,檢測結(jié)果應(yīng)符合表3.0.3的規(guī)定
2、當(dāng)送風(fēng)口集中布置時,應(yīng)對手術(shù)區(qū)和周邊區(qū)分別檢測;當(dāng)送風(fēng)口分散布置時,全室統(tǒng)一檢測
3、當(dāng)采用浮游法測定浮游菌濃度時,細(xì)菌濃度測點數(shù)應(yīng)和被測區(qū)域的含塵濃度測點數(shù)相同,且宜在同一位置上。每次采樣應(yīng)滿足表10.3.13-1規(guī)定的最小采樣量的要求,每次采樣時間不應(yīng)超過
浮游菌最小采樣量表

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級集成電路潔凈廠房環(huán)境設(shè)計要求

潔凈室工程又稱鏈接關(guān)鍵詞無塵車間工程。在高新技術(shù)產(chǎn)品加工過程中,如何滿足產(chǎn)品精密加工、小型化、高質(zhì)量、高可靠性的要求,對生產(chǎn)環(huán)境中潔凈室工程的潔凈水平提出了更高的要求。
目前,潔凈室工程技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)或其他需要防止顆粒物污染和微生物污染的環(huán)境實驗室控制中。由于不同行業(yè)之間距離大,要求不同,經(jīng)營環(huán)境的內(nèi)容和目標(biāo)也不盡相同,以下是我國五大行業(yè)潔凈室對工程技術(shù)要求的總結(jié)。
1.藥品生物潔凈室要求
藥品是用來預(yù)防和治療疾病,恢復(fù)和調(diào)節(jié)身體機(jī)能的特殊商品。它的質(zhì)量直接關(guān)系到人們的健康和安全。如果某些藥品在生產(chǎn)過程中受到微生物、粉塵顆粒等污染或相互滲透污染,可能會發(fā)生意外的疾病和損害。
2.醫(yī)用潔凈室工程要求及醫(yī)學(xué)探討
以集成電路為代表的工業(yè)環(huán)境實驗室的控制多采用工業(yè)潔凈室技術(shù)和工業(yè)潔凈室工程,而醫(yī)學(xué)上多采用生物潔凈室工程進(jìn)行微生物污染控制。在生物潔凈室中,這些微生物主要由細(xì)菌和真菌組成,其粒徑為0。常見細(xì)菌的粒徑為0。它們大多附著在其他粒子上。生物污染通道不僅通過空氣,還與人體、經(jīng)營者的衣著有關(guān)。在醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域,生物實驗室工程、無菌實驗室工程、特種養(yǎng)殖動物、養(yǎng)殖室等也非常需要控制微生物污染。
3.精密機(jī)械和精細(xì)化工產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室工程要求
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境中的粉塵濃度提出了很高的要求,這就要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度水平和各種相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量,需要對生產(chǎn)過程進(jìn)行控制。例如在膠片生產(chǎn)中,如果膠片被粉塵污染,會產(chǎn)生乳化氧化、活性減弱、pH值變化等,進(jìn)而影響膠片的感光度。
4.半導(dǎo)體和集成電路潔凈室的工程要求
半導(dǎo)體數(shù)據(jù)凈化是發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。目前層流罩的最高級別是航天航空艙室,基本上屬于一級,屬于面積較小的特殊領(lǐng)域。此外,生化實驗室和高精度納米數(shù)據(jù)生產(chǎn)車間對水平也有更高的要求。物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的主要方向。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為了獲得高純度硅數(shù)據(jù),材料和中心介質(zhì)的高純度和高精度恒溫恒濕工程,生產(chǎn)環(huán)境的清潔已成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的突出問題。
集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),芯片的缺陷密度與空氣中粒子的數(shù)量有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展不僅要求空氣中粒子的大小,而且要求粒子的數(shù)量。另外,對超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間工程的化學(xué)污染控制也有相關(guān)要求。
5.化妝品和食品生產(chǎn)的潔凈室要求
現(xiàn)代化妝品大多含有蛋白質(zhì)、維生素、氨基酸、植物提取物等,為細(xì)菌、霉菌等微生物的繁殖提供了有利條件。凈化設(shè)備控制產(chǎn)品(如硅片)所接觸大氣的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品在良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造。這個空間的設(shè)計和施工過程可以稱為凈化工程。因此,微生物污染是影響化妝品質(zhì)量的重要因素。

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級集成電路潔凈廠房設(shè)計前需要考慮的事項

我們知道潔凈廠房的建立要求是非常高的,因此,現(xiàn)在想要建設(shè)一個凈化車間,就必須從一開始設(shè)計的時候,就需要考慮全面,這樣才能保證凈化車間在施工的時候不出現(xiàn)差錯,那么,潔凈廠房設(shè)計前有哪些要求需要我們考慮呢?下面小編帶大家一起來了解下。
1、周圍環(huán)境的要求
凈化車間設(shè)計之前,我們首先得選好地址,首先凈化車間不僅要選在一些現(xiàn)代化的工廠內(nèi)部,而且還要考慮它周圍的環(huán)境,凈化車間不能選擇在居民區(qū),因為考慮到水資源流動的問題,我們在選址的時候,不能選在任何水資源的上游
2、車間廠房的結(jié)構(gòu)格局
生產(chǎn)車間的建筑結(jié)構(gòu)都比較寬敞的,在設(shè)計時要充分考慮到工作人員對室內(nèi)環(huán)境的影響。生產(chǎn)車間建筑結(jié)構(gòu)比較緊湊的,設(shè)計時要特別考慮到室內(nèi)溫度,不同建筑格局對設(shè)計要求都不一樣
3、材料的選擇
凈化車間設(shè)計時,凈化車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型
以上就是根大家介紹的關(guān)于潔凈廠房設(shè)計前需要考慮的事項方面的一些要求,從上面我們知道建立凈化車間一項復(fù)雜的系統(tǒng)工程,所以做好潔凈廠房設(shè)計前期準(zhǔn)備工作顯得尤為重要

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級集成電路潔凈廠房電氣電路安裝要點

1、低壓配管配線,要特別注意工程前期配合土建按圖正確預(yù)埋的檢查,配管時電管的彎曲處不應(yīng)有褶皺凹穴、裂縫等
2、做好電氣施工隱蔽記錄,電氣設(shè)備開箱檢查記錄,以及所有的電氣材料的出廠合格證明。試車前認(rèn)真檢驗線路,做好各種絕緣、接地電阻測試,及時、認(rèn)真、真實的填寫各種測試報告
3、對所有機(jī)械動力設(shè)備,應(yīng)做好各種開箱驗收記錄,設(shè)備安裝記錄,試車測試記錄,及時、認(rèn)真、真實的填寫各種測試報告

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萬級集成電路潔凈廠房排水裝修方案

應(yīng)選擇無毒.不吸水不滲水.防滑.耐腐蝕.易清潔.防靜電的地面材料,地面還應(yīng)有相應(yīng)的坡度

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

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