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環(huán)境是人和某個對象的空間,在環(huán)境方面,既是室外環(huán)境,也是室內(nèi)環(huán)境,也是部分空間環(huán)境,后兩者又稱微環(huán)境,空氣潔凈技術(shù)是研究微環(huán)境污染控制技術(shù),是建立潔凈環(huán)境的技術(shù),潔凈室環(huán)境的主要質(zhì)量是空氣潔凈度,即對空氣微粒子濃度的要求,但由于在潔凈環(huán)境中進行的工作具有特殊性,對潔凈環(huán)境的質(zhì)量也有其他要求,如下表所示,潔凈環(huán)境質(zhì)量所要求的面部,是指潔凈環(huán)境中空氣含塵量的程度。
潔凈空間的溫度、濕度主要由技術(shù)要求決定.
在滿足工藝要求的條件下,應考慮人的舒適性.溫度對生產(chǎn)技術(shù)的影響主要從產(chǎn)品精度和合格率來考慮.另一方面,從污染的角度來考慮.
溫度上升后,會出汗,汗會污染產(chǎn)品.濕度過高的問題也很多,相對濕度超過55%的話,冷卻水管的壁面會結(jié)露.如果發(fā)生在精密裝置或電路上,會造成各種事故.相對濕度在50%時容易生銹.另外,濕度過高,物體表面的灰塵很難去除.但是,相對濕度在30%以下的情況下,由于靜電力的作用,粒子也容易吸附在物體在半導體生產(chǎn)現(xiàn)場,靜電會破壞半導體設備,某硅晶片廠潔凈空調(diào)系統(tǒng)設計案例剖析
某硅晶片廠潔凈空調(diào)系統(tǒng)設計案例分析因此,在潔凈室內(nèi)控制溫度和濕度.人體舒適一般與空氣溫度濕度、人體空氣速度、空間內(nèi)各種表面溫度、人的活動強度、生活習慣、服裝狀況、年齡、性別等有關.上述幾個不同因素的組合,可以給人同樣的冷熱感.同樣的舒適用等效溫度來表示.等效溫度與相對濕度φ=50%、空氣流速v=0.15m/s時的空氣溫度相對應,此時的空氣溫度多.這許多溫度的集合稱為等效溫度.相同有效溫度的狀態(tài)點對應的干球溫度和相對濕度不同,但給人的冷熱感覺和有效溫度相同.
在潔凈室工作人員穿工作服工作,潔凈工作服一般與普通衣服不同,因此在潔凈室感到舒適的溫濕度低于普通環(huán)境的溫濕度,在潔凈現(xiàn)場設計規(guī)范中,如果生產(chǎn)技術(shù)沒有溫度、濕度要求,潔凈室的溫度為20~26℃,濕度為70%.
空氣潔凈度是指空氣中含有的灰塵粒子濃度的高低與具體水平有關.事實上,這種潔凈只是物理學的意義,而是廣義的潔凈,從化學和生理學的角度來看,應用確保潔凈空間中氧氣的數(shù)量和質(zhì)量以及負氧離子的數(shù)量.1.有害氣體在潔凈室中不僅含有CO2,生產(chǎn)技術(shù)也含有其他各種有害氣體,因此必須將這些有害氣體的含量控制在一定范圍內(nèi).2.臭味、空氣中的氣味主要是臭味,沒有物理量的評價方法.
一般用感覺等級來評價臭味強度.3.空氣離子、空氣離子一般分為小離子、中離子、大離子3種.
①空氣離子的生物作用,空氣離子對人體有一定的生物作用,一般降低血壓,抑制哮喘,對神經(jīng)系統(tǒng)有鎮(zhèn)靜作用,能恢復疲勞.
②.空氣離子對室內(nèi)氣候的作用
1)使充電表面中性化.
2)加速微粒子沉降.
在空氣潔凈系統(tǒng)中,除了通風次數(shù)保證空氣新鮮度外,《潔凈現(xiàn)場設計規(guī)范》還規(guī)定了以下風量的最大值亂流潔凈室總送風量為10%~30%,層流潔凈室總送風量為2~4%補償室內(nèi)排氣和維持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量,保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量在40m3以上。
潔凈室噪音標準一般嚴格遵守健康標準,目的是保障操作正常進行,滿足必要的對話聯(lián)系和安全舒適的工作環(huán)境.
測量潔凈室噪音的主要指標是:
1.煩惱效果,噪音使人感到不安而煩惱,一般分為非常安靜、安靜、稍微吵鬧、吵鬧和吵鬧的7個煩惱等級,反應水平是吵鬧和吵鬧的人,也就是高煩惱.
2.對工作效率的影響主要取決于三個方面的反應水平:集中精神、工作準確性和工作速度.
3.綜合通信的干擾主要分為清晰或滿意、稍微困難、困難、不可能。
在潔凈現(xiàn)場設計規(guī)范中,對噪音進行動態(tài)測試時,最高不超過75dB(a),空態(tài)測試時,亂流潔凈室不超過60dB(a),層流潔凈室不超過65dB(a).
1.照度由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容多有細致的要求,而且是密閉的房子,因此,對照明有很高的要求.
照明方式:一般照明、局部照明、混合照明(混合照明是一般照明和局部照明合成的照明).
2.眩光、照度是照明量的指標,照明質(zhì)量的指標采用眩光的概念,如果照明亮度得到滿足,但由于眩目無法工作,這種照明效果不好.
潔凈室的防靜電能力如何成為評價其質(zhì)量的不容忽視的一面.
環(huán)境是人和某種對象的空間.在環(huán)境方面,既是室外環(huán)境,也是室內(nèi)環(huán)境,也是部分空間環(huán)境.后兩者又稱微環(huán)境.空氣潔凈技術(shù)是研究微環(huán)境污染控制技術(shù),是建立潔凈環(huán)境的技術(shù).
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