十萬級微電子潔凈室設(shè)計(jì)施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事電子潔凈室工程規(guī)劃，設(shè)計(jì)，施工一條路凈化工程公司，歡迎來電咨詢：027-82289886
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室（區(qū)）除了對微粒的嚴(yán)格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴(yán)格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達(dá)到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

眾所周知，現(xiàn)在潔凈室的應(yīng)用越來越廣泛，在許多企業(yè)生產(chǎn)產(chǎn)品的時(shí)候都必須要在無塵的環(huán)境當(dāng)中進(jìn)行，所以現(xiàn)在大部分的企業(yè)都會(huì)堅(jiān)持潔凈室，它之所以能夠達(dá)到無塵的效果，就是因?yàn)樵谲噹b配備了許多凈化設(shè)備，那么這種車間都會(huì)使用到哪些凈化設(shè)備呢？下面小編帶大家來來了解一下吧
潔凈室需要用到的凈化設(shè)備
在潔凈室當(dāng)中，首先要說的就是進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)，對于任何一個(gè)潔凈室來說，為了能夠有效的提升空氣的清潔度，就必須要安裝進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)，除了進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)之外，還必須要安裝回風(fēng)系統(tǒng)，只有這兩個(gè)系統(tǒng)同時(shí)使用，才能夠有效的更換空間內(nèi)的空氣，其中最主要的就包括各種過濾箱，另外還有中央凈化空調(diào)
當(dāng)然潔凈室當(dāng)中的凈化設(shè)備還有很多，不僅只有上面所說的這些，對于10-千級:的潔凈室而言，在建設(shè)的過程當(dāng)中，還必須要安裝垂直層流工作臺(tái)，另外還包括自凈器和潔凈棚，除此之外，當(dāng)工作人員進(jìn)入到該車間之內(nèi)，為了保證車間內(nèi)空氣的清潔度，還必須要建設(shè)緩沖區(qū)，在緩沖區(qū)當(dāng)中必須要設(shè)置潔凈儲(chǔ)衣柜和空氣清新機(jī)，從而能夠保證工作服的清潔度
對于任何一個(gè)潔凈室來說，都需要包含上面所說的這些設(shè)備，只有安裝這些設(shè)備之后才能夠有效的提升空氣清潔度，當(dāng)然對于垂直層流工作臺(tái)，如果潔凈室的等級不算太高的話，則無需安裝這樣的清潔設(shè)備

隨著醫(yī)藥行業(yè)和電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，越來越多的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)需要在潔凈室中進(jìn)行。潔凈室的設(shè)計(jì)要滿足各行各業(yè)的需求，所以,在潔凈室在設(shè)計(jì)時(shí)有許多需要注意的地方。下面來看看吧
1、潔凈室 和其他房間例如辦公房間等獨(dú)立開來，并應(yīng)該讓潔凈室處于風(fēng)速最小的區(qū)域。為了滿足生產(chǎn)工藝優(yōu)化的需要，潔凈室的空間布局不宜有太多的分隔，應(yīng)該靈活機(jī)動(dòng)，能夠隨著生產(chǎn)需要的變化而變化
2、在非潔凈室到潔凈室之間應(yīng)該安裝一系列的風(fēng)淋設(shè)備，因?yàn)轱L(fēng)淋室中吹出的干凈空氣能夠吹去貨物和工作人員身上攜帶的塵埃，同時(shí)還可以避免人和貨物攜帶外界未經(jīng)過凈化的空氣進(jìn)入潔凈室
3、潔凈室安裝有空氣高效過濾器，一般安裝于排風(fēng)口處，為工作人員提供呼吸用的新鮮空氣，同時(shí)保持室內(nèi)的恒定壓力

1、馬達(dá)效率
馬達(dá)消耗了潔凈室的大部分電能。使用優(yōu)質(zhì)高效的馬達(dá)，不一定會(huì)花費(fèi)太多。高效率意味著最小，在改變馬達(dá)的尺寸之前先盡量減小負(fù)荷。在輸出量變化時(shí)，利用變速驅(qū)動(dòng)(VSD)可以提高操作效率。
2、雙溫度冷凍循環(huán)
冷凍水的供給溫度每增加一華氏度，冷凍器效率就提高一個(gè)百分點(diǎn)以上。提供兩個(gè)不同溫度的冷凍水，那么工作效率將會(huì)更高。設(shè)計(jì)人員可以使用并聯(lián)循環(huán)管路，將他們 成兩個(gè)子系統(tǒng)，這個(gè)方案可以迅速增加整個(gè)冷凍機(jī)機(jī)組的效率提高25%或更多。對于相同容量的冷凍機(jī)，高溫工作要比低溫工作花費(fèi)小得多。
3、低斷面風(fēng)速設(shè)計(jì)
斷面風(fēng)速是指空氣經(jīng)過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。在低斷面風(fēng)速(LFV)設(shè)計(jì)中，使用更大的空氣處理器和更小的風(fēng)機(jī)，從而降低空氣的流速，降低能耗。如果空氣流量降低50%，風(fēng)機(jī)能耗將下降88%。最優(yōu)的斷面風(fēng)速范圍是250-450英尺/分鐘，具體取決于使用情況和能量消耗。
4、熱量回收
許多任務(wù)都要消耗大量的能量來制熱，同時(shí)又消耗更多的能量從工藝過程中移除“廢”熱，可以把這兩個(gè)過程結(jié)合起來設(shè)計(jì)?；厥盏臒崃靠梢杂脕眍A(yù)熱新風(fēng)，送風(fēng)再熱，熱交換器可以使不能混合或者直接接觸的不同介質(zhì)進(jìn)行熱量交換。
5、變速驅(qū)動(dòng)的冷凍機(jī)
變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)通常工作在全負(fù)荷的90%-95%以節(jié)省能量。購買變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)是劃算的。用變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)可降低能耗，同時(shí)讓其他冷凍機(jī)可靠性運(yùn)行。有許多的研究和實(shí)驗(yàn)證明，變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)的效果是很好的。
6、換氣次數(shù)
無塵車間要維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數(shù)。流量根據(jù)每小時(shí)的換氣次數(shù)來確定，同時(shí)這也決定了風(fēng)機(jī)尺寸、建筑構(gòu)型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。ISO建議第5級潔凈室的換氣次數(shù)大約是200，保守的上限是300。

凈化設(shè)備的安裝
1.根據(jù)潔凈廠房中產(chǎn)品生產(chǎn)的需要和人員凈化.物料凈化等要求，一般設(shè)置有各種類型的凈化設(shè)備。各類凈化設(shè)備與潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連時(shí)，其接縫必須密封。
2.風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU.FMU空氣凈化設(shè)備）的安裝，一般應(yīng)做到如下要求。
FFU或FWU裝置應(yīng)在潔凈的現(xiàn)場進(jìn)行外觀檢查，目測不得有變形.銹蝕.漆膜脫落.拼接板破損等現(xiàn)象。
在風(fēng)機(jī)過濾單元的高效過濾器安裝前應(yīng)進(jìn)行檢漏，合格后才能進(jìn)行安裝。方向安裝必須正確，安裝后的風(fēng)機(jī)過濾單元應(yīng)便于檢修。
安裝后的風(fēng)機(jī)過濾單元，應(yīng)保持整體平整，與吊頂銜接應(yīng)良好。風(fēng)機(jī)箱與過濾器之間連接.風(fēng)機(jī)過濾器單元與吊頂框架之間均應(yīng)采取可靠的密封措施。
風(fēng)機(jī)過濾器單元在進(jìn)行系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，必須在風(fēng)口加裝臨時(shí)中效過濾器。
3.帶有風(fēng)機(jī)的氣閘室.風(fēng)淋室與地面間應(yīng)隔振墊;安裝時(shí)應(yīng)按產(chǎn)品說明要求，做到平整并與潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)間配合正確，其接縫應(yīng)進(jìn)行密封。
4.機(jī)械式余壓閥的安裝，閥體.閥板的轉(zhuǎn)軸均應(yīng)水平，允許偏差為2/1000。余壓閥的安裝位置應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，一般設(shè)在室內(nèi)氣流的下風(fēng)側(cè)，并不應(yīng)在工作面高度的范圍內(nèi)。
5.傳遞窗的安裝應(yīng)符合設(shè)計(jì)圖紙和產(chǎn)品說明書的要求，安裝應(yīng)牢固.垂直，與墻體的連接處應(yīng)進(jìn)行密封。
6.潔凈層流罩的安裝應(yīng)做到如下要求。
應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的吊桿，并設(shè)有防晃動(dòng)的固定措施。
層流罩安裝的水平度的允許偏差為1/1000，高度的允許偏差為±。
當(dāng)層流罩安裝在吊頂上時(shí)，其四周與頂棚之間應(yīng)設(shè)有密封和隔振措施。

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環(huán)境要求
通風(fēng)：實(shí)驗(yàn)室在實(shí)驗(yàn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的有毒有害氣體，對人體產(chǎn)生傷害，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持良好的通風(fēng)，并裝備相應(yīng)的通風(fēng)設(shè)施
如：通風(fēng)柜、萬向排氣罩、原子吸收罩及其他局部排風(fēng)裝置。必要時(shí)需對整個(gè)房間設(shè)計(jì)整體排風(fēng)和補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng)
溫度和濕度：為了保障實(shí)驗(yàn)室工作人員有一個(gè)適合的工作環(huán)境，以及儀器設(shè)備有一個(gè)穩(wěn)定的工作狀態(tài)，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持適宜的溫度和濕度。夏季事宜溫度為18-28℃，冬季為16-20℃，濕度控制在30%-70%之間，在局部實(shí)驗(yàn)區(qū)域?qū)穸群蜏囟扔袊?yán)格要求的可以建立恒溫恒濕室
潔凈度：經(jīng)常保持實(shí)驗(yàn)室的清潔非常重要，實(shí)驗(yàn)室換氣過程中室外塵土及其他污染物容易進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)室含塵量過高，空氣不潔凈影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。而且塵土及微粒落在儀器設(shè)備元件表面，容易形成故障，或其他潛在危險(xiǎn)。通常實(shí)驗(yàn)室在補(bǔ)風(fēng)入口加裝過濾網(wǎng)，并及時(shí)對室內(nèi)及設(shè)備做清潔。在對潔凈度有特殊要求的實(shí)驗(yàn)區(qū)域，應(yīng)建立潔凈間，根據(jù)潔凈要求不同可分為百級、千級、萬級、十萬級等
設(shè)置要求
供水與排水，排污：實(shí)驗(yàn)室供水分為自來水和純凈水。自來水供水可用PPR管做水路，純凈水則用不銹鋼管做水路。實(shí)驗(yàn)室通常裝有水龍頭、洗眼器、緊急噴淋等。一般實(shí)驗(yàn)室水可直接排入城市下水網(wǎng)道，而有毒廢水必須凈化才能排入下水網(wǎng)道或建立專門的廢液處理池
供電：電力是實(shí)驗(yàn)室的重要?jiǎng)恿?，為保障?shí)驗(yàn)室的正常工作，電源的質(zhì)量，安全可靠性及連續(xù)性必須保證。一般用電和實(shí)驗(yàn)用電分開，對一些精密貴重儀器設(shè)備要求提供穩(wěn)壓，恒流，穩(wěn)頻，抗干擾的電源;必要時(shí)須建立不中斷供電系統(tǒng)，還要配備專用電源(UPS)等
供氣：實(shí)驗(yàn)室使用的壓縮氣體鋼瓶，應(yīng)保持最少的數(shù)量，放置帶報(bào)警裝置的氣瓶柜內(nèi)，不可靠近火源，直接日曬
廢氣排放：實(shí)驗(yàn)室廢氣量少，危害性少，可直接排放，但排出管必須高出附近建筑3m。對毒性較大和濃度高的廢氣，則需凈化處理再行排放。一般可采用活性炭吸附塔和噴淋吸附塔

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