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                                                                     文件編號:XXX

檢測編號:

被測單元

 

潔凈級別

 

氣流形式

 

測試狀態(tài)

  

檢測日期

 

測試依據(jù)

 

講述日期

 

測試儀器廠家及編號:

 

紀(jì)錄0.5μm、5μm粒子數(shù):采樣流量為2.83L/min;采樣周期為1min;(單元:/m3

潔凈室/區(qū)



點(diǎn)

粒子
直徑

C1

C2

C3

平均值A=C1 C2 C3
  3
           

平均值的均值
M=(A1 A2)/L

尺度誤差
SE

置信上限UCL=M t×SE

效果
評定

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

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5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

評定尺度:
 

 

                               

注:1A1,A2--某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度; UCL--平均值均值95%置信上限;                                                                

  L--某一潔凈室/區(qū)內(nèi)的總采樣點(diǎn)數(shù),個;  t--95%置信上限的t漫衍系數(shù)(6.31);                             

                                                                                                            

 

                                                                     文件編號:XXX

檢測編號:                                             檢測日期:

潔凈室/區(qū)



點(diǎn)

粒子
直徑

C1

C2

C3

平均值A=C1 C2 C3
  3
           

平均值的均值
M=(A1 A2)/L

尺度誤差
SE

置信上限UCL=M t×SE

效果
評定

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

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5μm

 

 

 

 

2

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5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

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0.5μm

 

 

 

 

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2

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5

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5μm

 

 

 

 

 

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0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

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5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

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5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

檢測者:                               復(fù)核者:                              頁 第 

 

檢測編號:                                             檢測日期:                          

 

 

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