無塵室塵埃粒子數(shù)檢測相關(guān)標準

文件夾名稱：潔凈室塵土顆粒檢驗限度安全操作規(guī)程

文件編號：ZL/SOP/ZK/02100

制定人：

日期：年月日

文件屬性：事兒限度

5.4檢測標準

5.4.1檢測標準

5.4.1.1溫度和環(huán)境濕度：潔凈室的溫度和空氣濕度應與其說生產(chǎn)制造及加工工藝規(guī)定相切合，溫控在18～26℃，空氣濕度操縱在45～65%中間為宜。

5.4.1.2壓力差：氣體潔凈度差其他潔凈室（區(qū)）中間的壓力差應≥5Pa，氣體潔凈度等級規(guī)定等高線的潔凈室（區(qū)）對鄰近的氣體潔凈度等級低的潔凈室（區(qū)）一樣平時規(guī)定呈相對性正壓力。

5.4.2測試狀態(tài)：有靜態(tài)數(shù)據(jù)檢測和信息檢測。

5.4.2.1靜態(tài)數(shù)據(jù)檢測時室內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)軟件已處在正常的運轉(zhuǎn)情況，檢測員工不可超過2人。塵土顆粒數(shù)務必相符合劃分。

5.4.2.2動態(tài)性檢測時已處在正常的生產(chǎn)制造情況，所產(chǎn)生顆粒不影響到最后產(chǎn)品的工作，可容許超過限度，但當實際操作進行10分鐘后，顆粒水準務必修復到以潔凈區(qū)細顆粒物較大容許數(shù)局限性以內(nèi)，應按時監(jiān)管動態(tài)性情況下的清潔情況。

5.4.2.3檢測敘述中應標出檢測時需接受的情況。

5.4.3檢測時間：對單邊流，檢測應在空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件正常的運轉(zhuǎn)時間不少于30分鐘后最開始。

5.4.4飄浮顆粒記數(shù)

5.4.4.1取樣點數(shù)量以及布署

5.4.4.1.1取樣點數(shù)量以及布署應憑據(jù)物質(zhì)的生產(chǎn)制造及加工工藝重要實際操作區(qū)設定。

5.4.4.1.2取樣點布署規(guī)定均值，阻攔取樣點在某部分地區(qū)過度希罕。

5.4.4.1.3取樣點一樣平時在事兒臺表面0.2m相對高度的水平上均值布署。

5.4.4.2取樣點的限定：針對一切小潔凈室或部分空氣過濾地區(qū)，取樣點的數(shù)量不可小于2個，總?cè)宇l次不可低于5次。每一個取樣點采樣頻次可以超過1次，但差別取樣點的采樣頻次可以差別。

至少取樣點數(shù)量

注：表格中的總面積，針對單邊流潔凈室，就是指排風總面積，針對非單方面流潔凈室，就是指屋子總面積。

5.4.4.3無塵車間取樣量：

5.4.4.4取樣重視事宜

5.4.4.4.1在確定潔凈室(區(qū))排風和壓力差抵達規(guī)定后,即可舉辦取樣。

5.4.4.4.2針對單邊流，計數(shù)取樣支管房屋朝向應正對著氣旋偏重，針對非單方面流，取樣口宜往上。

5.4.4.4.3布署取樣點時，應繞開回風管道。

5.4.4.4.4取樣時，檢測員工應在取樣口的低處側(cè)。

5.4.4.4.5飄浮顆粒濃度值的取樣數(shù)據(jù)信息應按以下流程作統(tǒng)計分析籌算。

5.5實際效果籌算

C1C2------CN

5.5.1取樣點的均值顆粒濃度值A(chǔ)=――――――――

N

式中：

A--某一采集點的均值顆粒濃度值，粒/m3；

Ci--某一采集點的微粒濃度值（i=1，2，---，N），粒/m3；

N--某一采集點上的取樣頻次，次。

A1A2---AL

5.5.2均值的平均值M=――――――――

L

式中

M――均值的平均值，即潔凈室（區(qū)）的均值顆粒濃度值，粒/m3；

Ai――某一采集點的均值顆粒濃度值（i=1,2，---，L）,粒/m3；

L――某一潔凈室（區(qū)）內(nèi)的總?cè)拥燃墸瑐€。

5.5.3限度偏差SE=式中

SE――均值的限度偏差，粒/m3。

5.5.4相信限制

UCL=Mt×SE

式中：UCL――均值平均值的95%相信限制，粒/m3；

t――95%相信限制的t漫衍指數(shù)。

95%相信限制的t漫衍指數(shù)

取樣數(shù)L

注：當取樣點超過9點時，不用籌算UCL。

5.6實際效果鑒定：分辨飄浮顆粒潔凈度等級應根據(jù)以下二個標準。

5.6.1每一個取樣點的均值顆粒濃度值務必小于或就是劃分的等級界限，即Ai≤等級界限。

5.6.2全部取樣點的微粒濃度值均值的平均值的95%相信限制務必小于或就是劃分的等級界限，即UCL≤等級界限。

5.7當持續(xù)三次試品檢測實際效果超越警示指標值,或模塊試品的實際效果新奇高時，應下手接受對策。

5.8用標著頁數(shù)記錄本紀錄潔凈室飄浮顆粒檢測試驗，內(nèi)容包含：單位、試情況、檢測時間、限度、檢測實際效果、效果籌算、實際效果鑒定等全部記錄務必有實驗員落款，并交品質(zhì)整治科用心人簽名。

5.9記錄本應保存至最后一次記錄后的三年。