電子光學(xué)工業(yè)潔凈廠(chǎng)房無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)規(guī)范

Code for design of electronic industry clean room 
--------------------------------------------------------------------------------
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)別
工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)-工程建設(shè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 

標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)
GB 50472-2008

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)
電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范 

英文名稱(chēng)
Code for design of electronic industry clean room 

批準(zhǔn)部門(mén)
中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 

批準(zhǔn)日期
2008年12月15日 

施行日期
2009年7月1日

主編部門(mén)
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

主編單位
中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院 

參編單位

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司
上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司
深圳市電子院設(shè)計(jì)有限公司
中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司
北京中瑞電子系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)院 

主要起草人

陳霖新 秦學(xué)禮 晁 陽(yáng) 張利群 王唯國(guó) 侯 憶 穆京祥 趙 海 高艷敏 王毅勃 肖紅梅 李 杰 李錦生 路振福 章光護(hù)
鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳 騮 焦明偉

目錄：

 1 總則
 2 術(shù)語(yǔ)
 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
     3.1 一般規(guī)定
     3.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求 

 4 總體設(shè)計(jì)
     4.1 位置選擇和總平面布置
     4.2 潔凈室型式
     4.3 潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào) 

 5 工藝設(shè)計(jì) 

     5.1 一般規(guī)定
     5.2 工藝布局
     5.3 人員凈化
     5.4 物料凈化
     5.5 設(shè)備及工器具 

 6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
     6.1 一般規(guī)定
     6.2 防火和疏散
     6.3 室內(nèi)裝修 

 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
     7.1 一般規(guī)定
     7.2 氣流流型和送風(fēng)量
     7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)
     7.4 空氣凈化設(shè)備
     7.5 采暖、通風(fēng)
     7.6 排煙
     7.7 風(fēng)管、附件
 
 8 給水排水設(shè)計(jì)
     8.1 一般規(guī)定
     8.2 給水
     8.3 排水
     8.4 雨水
     8.5 消防給水和滅火設(shè)備
 
 9 純水供應(yīng)
     9.1 一般規(guī)定
     9.2 純水系統(tǒng)
     9.3 管材、閥門(mén)和附件
 
 10 氣體供應(yīng)
     10.1 一般規(guī)定
     10.2 常用氣體系統(tǒng)
     10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)
     10.4 特種氣體系統(tǒng)
 
 11 化學(xué)品供應(yīng)
     11.1 一般規(guī)定
     11.2 化學(xué)品儲(chǔ)存、輸送
     11.3 管材、閥門(mén)
 
 12 電氣設(shè)計(jì)
     12.1 配電
     12.2 照明
     12.3 通信與安全保護(hù)裝置
     12.4 自動(dòng)控制
     12.5 接地
 
 13 防靜電與接地設(shè)計(jì)
     13.1 一般規(guī)定
     13.2 防靜電措施
     13.3 防靜電接地
 
 14 噪聲控制
     14.1 一般規(guī)定
     14.2 噪聲控制設(shè)計(jì)
 
 15 微振控制
     15.1 一般規(guī)定
     15.2 容許振動(dòng)值
     15.3 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)
 
 附錄A 各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求
 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例
 附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例
 附錄D 潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試和認(rèn)證 
 
 本規(guī)范用詞說(shuō)明
 附：條文說(shuō)明 

目的：

為在電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，制定本規(guī)范。

適用范圍：

 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)。

強(qiáng)制條文摘錄：

3.2.5  單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。
4.3.3
    1  按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)，甲、乙類(lèi)的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；
5.4.2  物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
5.5.6  潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；
    2  對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；
    3  傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。
6.2.1  潔凈廠(chǎng)房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
6.2.6  在綜合性廠(chǎng)房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
6.2.7  潔凈廠(chǎng)房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
    2  安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門(mén)應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并應(yīng)設(shè)觀(guān)察玻璃窗；
    3  丙類(lèi)生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。
    注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的TFT-LCD廠(chǎng)房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m2，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。
6.2.8  潔凈廠(chǎng)房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專(zhuān)用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  潔凈區(qū)各層專(zhuān)用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
    2  潔凈廠(chǎng)房外墻上的吊門(mén)、電控自動(dòng)門(mén)以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專(zhuān)用消防口。
6.2.9  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
6.3.1  潔凈廠(chǎng)房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T 8627的有關(guān)規(guī)定。
7.1.6  潔凈室（區(qū)）與周?chē)目臻g應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定： 
    1  各潔凈室（區(qū)）與周?chē)臻g的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；
    2  不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；
    3  潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；
    4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
7.5.1  空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。
7.5.3 
    1  應(yīng)防止室外氣流倒灌；
    2  含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；
    4  對(duì)含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；
    5  排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
    6  排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
    7  排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計(jì)；
    8  排除有爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。
7.5.4  對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。
7.5.6  潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；
    2  應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn)；
    3  應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。
7.6.1  潔凈廠(chǎng)房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。
7.7.2  凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
    含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。
7.7.7
    2  排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；
    3  附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。
8.3.1  生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
8.3.2  潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。
8.5.1  潔凈廠(chǎng)房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
8.5.2
    1  潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；
8.5.3
    3  存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。
9.2.3
    3  不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍；
    4  干管應(yīng)設(shè)置清洗口；
    5  管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；
10.1.5  潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。
10.1.6  可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。
10.1.7
    2  不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；
    3  管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。
10.1.8
    1  可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門(mén)時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門(mén)箱，閥門(mén)箱應(yīng)設(shè)置氣體泄露報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；
    3  引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施；
    4  應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10.2.5  氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類(lèi)確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；
    2  氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；
    3  應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；
    4  應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；
    5  應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10.2.6  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
    1  管道及閥門(mén)、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；
    2  應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
    3  氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。
10.4.2  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門(mén)窗應(yīng)為甲級(jí)防火門(mén)窗。
10.4.3
    1  特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中；
    2  排風(fēng)機(jī)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
    3  一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門(mén)箱；
10.4.5  硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠(chǎng)房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)。儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開(kāi)，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；
    2  氣瓶或氣瓶組與周?chē)臉?gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3.0m；
    3  儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。
11.2.1
    1  化學(xué)品儲(chǔ)存間（區(qū)）的儲(chǔ)量不應(yīng)超過(guò)該化學(xué)品24h的消耗量；
    2  化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類(lèi)儲(chǔ)存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫(kù)儲(chǔ)存時(shí)，應(yīng)采用實(shí)體墻分隔；
    3  危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在單獨(dú)的儲(chǔ)存間或儲(chǔ)存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.5h的隔墻分隔；
    5  各類(lèi)化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)。機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源；
    6  易爆化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面；
    7  輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；  
    8  接至用戶(hù)的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)切斷閥。
11.2.2  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)采用容器傳送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  嚴(yán)禁在出入口、疏散走廊儲(chǔ)存和分配危險(xiǎn)化學(xué)品。潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)；
    2  運(yùn)送危險(xiǎn)化學(xué)品的推車(chē)運(yùn)載量不得超過(guò)250L；單個(gè)容器的容量不應(yīng)超過(guò)20L；
    3  物理化學(xué)特性不相容的危險(xiǎn)化學(xué)品不得采用同一推車(chē)運(yùn)送。
11.2.3  當(dāng)采用壓力罐輸送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì)；
    2  壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)口，減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域；
    3  輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮?dú)庠鰤海?br />     4  在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動(dòng)切斷閥；
    5  應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動(dòng)關(guān)閉裝置，并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對(duì)設(shè)施。
11.2.5  液態(tài)危險(xiǎn)化學(xué)品的儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  儲(chǔ)存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護(hù)堤，保護(hù)堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲(chǔ)罐的容積或20min消防用水量；保護(hù)堤的高度不應(yīng)低于500mm；
    2  化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲(chǔ)罐或罐組之間，應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過(guò)隔堤時(shí)應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400mm；
    3  應(yīng)設(shè)置液體泄露報(bào)警裝置；
    4  應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。
11.3.1  化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)按所輸送化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。
12.1.8  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)，可燃?xì)怏w或液體的儲(chǔ)存、分配間的電氣設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
12.2.3
    1  潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明；
12.2.4  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0 lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專(zhuān)用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。
12.3.2  潔凈廠(chǎng)房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，其防護(hù)等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時(shí)，保護(hù)等級(jí)應(yīng)為一級(jí)。
12.3.4
    1  潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測(cè)器；
    3  硅烷儲(chǔ)存、分配間（區(qū)），應(yīng)設(shè)置紅外線(xiàn)-紫外線(xiàn)火焰探測(cè)器；
12.3.6  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置：
    1  易燃、易爆、有毒氣體的儲(chǔ)存分配間（區(qū)）；
    2  易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門(mén)箱內(nèi)；
    3  工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。
12.3.7  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)氣體報(bào)警裝置的聯(lián)動(dòng)控制，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1  應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置；
    2  應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的進(jìn)氣閥；
    3  應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)；
    4  報(bào)警信號(hào)應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光警報(bào)裝置和應(yīng)急廣播。
12.3.8  潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報(bào)警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。
12.4.4  凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。
13.2.1
    2  防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×104~1×109Ω；
    3  防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1×105~1×108Ω。
13.3.4  對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。