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百級半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)施工

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百級半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事半導(dǎo)體潔凈廠房工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
電子廠的生產(chǎn)車間一般全是無塵凈化車間,那樣的自然環(huán)境才能考慮于一些儀表儀器生產(chǎn)制造的需求,而要想做到這一規(guī)定,電子廠無塵凈化車間整體規(guī)劃就看起來至關(guān)重要了。那麼電子廠無塵凈化車間整體規(guī)劃留意關(guān)鍵點(diǎn)是什么?東莞豐特凈化工程老師來為大家分析一下。

百級半導(dǎo)體潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)

百級潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 
10萬級高清潔潔凈廠房:指清潔等級,可以理解為無塵室,但無塵室也需要通風(fēng)。更換后的空氣需要通過凈化室進(jìn)行凈化,然后送到無塵室。10萬級要求每小時換氣15-19次,完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。
1.凈化車間原則 
一般來說,有三個過濾部分:初始過濾、中效過濾和高效過濾。→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→把灰塵、細(xì)菌和其他顆粒吹進(jìn)房間→回風(fēng)百葉窗→通過重復(fù)上述過程,可以達(dá)到凈化目的?!?br /> 2.10萬級潔凈廠房凈化技術(shù)參數(shù) 
當(dāng)10萬級潔凈室對溫度和濕度沒有特殊要求時,宜穿干凈的工作服,不產(chǎn)生舒適感,冬季一般控制溫度20~22℃,夏季24~26℃,波動±2℃;冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%?!?br /> 標(biāo)準(zhǔn)1:最大允許數(shù)30.5微米的粒子數(shù)量不超過350萬,王5微米的粒子數(shù)量不超過2萬?!?br /> 標(biāo)準(zhǔn)二:最大允許的微生物數(shù)量浮游菌數(shù)不超過50/m;沉降菌數(shù)不得超過1"/培養(yǎng)皿?!?br /> 標(biāo)準(zhǔn)3:壓差。同一潔凈等級的潔凈室壓差應(yīng)保持一致,不同潔凈等級的相鄰潔凈室壓差應(yīng)保持一致 
>5Pa,>10在潔凈室和非潔凈室之間Pa(主要是保證空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū),避免氣流倒灌)。

半導(dǎo)體潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

百級半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)依據(jù)

《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》 (JGJ71-90)
《通風(fēng)與空調(diào)工程施工》 (GB50243-2002)
《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GB50019-2003)
《通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口設(shè)計(jì)規(guī)范》
凈化車間設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GB 50457)
《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》 (GB/T 16292)
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房(區(qū))懸浮粒子的測試方法》(GB/T 16294)
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房(區(qū))沉降菌的測試方法》
《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ50073-2001)
《潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范》     (JGJ71-90)
《暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ19-87)
《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 (GBJ16-87)
《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ87-85)
《工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》 (GB50034-92)

半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

百級半導(dǎo)體潔凈廠房選址要求及總體設(shè)計(jì)

半導(dǎo)體生產(chǎn)潔凈廠房規(guī)劃選址要求  
1、選址時要考慮:地點(diǎn)周圍的自然環(huán)境和衛(wèi)生條件都很好,至少沒有空氣或水污染源,還要遠(yuǎn)離交通干道、貨場等。  
2.廠區(qū)環(huán)境要求:廠區(qū)地面、道路應(yīng)平整無塵。減少露土面積或通過綠化控制粉塵的措施是合適的。垃圾和閑置物品不得露天存放。簡而言之,工廠的環(huán)境不應(yīng)污染無菌半導(dǎo)體的生產(chǎn)。 
3、工廠的總體布局要合理:不能對無菌半導(dǎo)體的生產(chǎn)區(qū),特別是潔凈區(qū)產(chǎn)生不良影響。

半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

百級半導(dǎo)體潔凈廠房分區(qū)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

1.半導(dǎo)體廠潔凈廠房分區(qū)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)  
一般半導(dǎo)體廠的潔凈廠房大致可以分為三個區(qū)域:一般作業(yè)區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和潔凈作業(yè)區(qū)。  
1.1.一般作業(yè)區(qū)(非潔凈區(qū)):外包裝室、原輔材料倉庫、包裝材料倉庫、外包裝車間、成品倉庫等一般原材料、包裝成品轉(zhuǎn)運(yùn)區(qū)等原材料、裸露風(fēng)險(xiǎn)較低的區(qū)域。  
1.2.準(zhǔn)潔凈區(qū):第二個要求,如原料處理、包裝材料處理、包裝、緩沖間(開箱間)、一般生產(chǎn)加工間、 非即食半導(dǎo)體內(nèi)包裝間等成品處理但不直接暴露的區(qū)域。  
1.3.潔凈作業(yè)區(qū): 是指對衛(wèi)生環(huán)境要求最高、對人員和環(huán)境要求較高的區(qū)域,必須經(jīng)過消毒和更換后才能進(jìn)入,如原材料和成品的裸露處理區(qū)域、半導(dǎo)體冷加工室、即食半導(dǎo)體冷卻室、即食半導(dǎo)體包裝儲存室、即食半導(dǎo)體內(nèi)包裝室等。  
2.在選址、設(shè)計(jì)、布局、建設(shè)和改造過程中,建造潔凈廠房的半導(dǎo)體廠應(yīng)盡量避免污染源、交叉污染、混合物和錯誤。 工廠環(huán)境潔凈,人員流動和物流方向合理。 應(yīng)采取適當(dāng)?shù)拈T禁措施,防止未經(jīng)批準(zhǔn)的人員進(jìn)入??諝馕廴緡?yán)重的建筑物應(yīng)建在全年風(fēng)向最大的下風(fēng)側(cè)。 有影響力的生產(chǎn)過程不應(yīng)位于同一建筑內(nèi),其生產(chǎn)區(qū)之間應(yīng)采取有效的分區(qū)措施。生產(chǎn) 生產(chǎn)的發(fā)酵產(chǎn)品應(yīng)有專門的發(fā)酵車間。  
3.潔凈生產(chǎn)區(qū)的要求 有無菌要求,但不能實(shí)現(xiàn)最終滅菌的過程,雖然可以實(shí)現(xiàn)最終滅菌,但滅菌后的無菌操作過程應(yīng)在潔凈生產(chǎn)區(qū)進(jìn)行。衛(wèi)生生產(chǎn)環(huán)境要求良好的潔凈生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)包括易腐半導(dǎo)體、即食半成品或成品的最終冷卻或包裝前的儲存和處理場所、原材料的預(yù)處理、產(chǎn)品密封和成型場所,無法最終消毒的地方,產(chǎn)品最終消毒后的暴露環(huán)境,內(nèi)部包裝材料準(zhǔn)備區(qū)和內(nèi)部包裝室,以及半導(dǎo)體生產(chǎn)的加工場所和檢驗(yàn)室,改善半導(dǎo)體特性或保存。 潔凈生產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)工藝和相應(yīng)的潔凈室等級要求應(yīng)合理布置。生產(chǎn)線的布置不得造成往返交叉和不連續(xù)。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)不同車間的產(chǎn)品和成品應(yīng)符合品種和工藝的需要,必要時應(yīng)采取緩沖室等措施,防止交叉污染,緩沖室的面積不得小于成品的潔凈區(qū)域。潔凈工程中應(yīng)設(shè)置與潔凈工作區(qū)域相適的產(chǎn)品。

半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

百級半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)布局

無塵室人員凈化和材料凈化設(shè)計(jì)布局  
廠房在一樓樓梯處設(shè)置人員換鞋處,SMT電子無塵車間人員入口處應(yīng)設(shè)置適宜的衣室和飲水區(qū).物料凈化用房及設(shè)施.根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》,應(yīng)設(shè)置生活用房和其他用房。人員凈化室應(yīng)包括雨具儲藏室、管理室和換鞋室.存外衣室.盥洗室.潔凈服務(wù)室和空氣吹淋浴室等。客房、風(fēng)淋室、休息室等生活用房和工作服潔凈室其他用房,如應(yīng)急房等.根據(jù)生產(chǎn)工藝需要,在二期裝修中設(shè)置果汁。  
人員凈化室和生活用房設(shè)計(jì).應(yīng)滿足以下要求:  
1、人員凈化室入口.應(yīng)設(shè)置凈鞋器。  
2、外部更衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣儲物柜和潔凈工作服柜應(yīng)根據(jù)每人的果汁數(shù)量設(shè)置一個柜子。  
3、衛(wèi)生間應(yīng)設(shè)置洗滌和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按最大班數(shù)每10人設(shè)置一個。  
4、潔凈區(qū)不允許設(shè)置廚房室內(nèi)人員冷化要設(shè)置前室。  
5、可以考慮設(shè)置風(fēng)淋室。風(fēng)淋室應(yīng)位于潔凈區(qū)人員入口處,并應(yīng)與潔凈服務(wù)室相鄰。單人空氣吹淋浴房每30人設(shè)置一個,只有100級垂直層流潔凈室可以改變緩沖間。  
潔凈工廠需要正壓管理壓差為10-15Pa。 當(dāng)潔凈區(qū)工作人員超過5人時,.旁通門應(yīng)設(shè)置在空氣吹淋室一側(cè)。人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。部署人員凈化室和生活用房.一般按人員凈化程序部署。 根據(jù)潔凈區(qū)的設(shè)計(jì)人數(shù),人員凈化用房和生活用房的建筑面積平均為每人4-6平方米。

半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體潔凈廠房設(shè)計(jì)
   

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