IEST-RP-CC012.2：潔凈室設(shè)計要點（中文完整版）

IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發(fā)基礎(chǔ)設(shè)計，環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會（IEST），建議實行的標(biāo)準(zhǔn)“IEST-RP-CC012.1：設(shè)計潔凈室時要考慮的問題”，最近已經(jīng)完成修訂，預(yù)計在今年年底出版。長期以來，原來推薦的規(guī)程一直是有關(guān)潔凈室設(shè)計、建筑和所有權(quán)的主要標(biāo)準(zhǔn)。它往往是用戶開始學(xué)習(xí)和了解潔凈室用途最重要的第一步。

    這個文件的正式范圍是：這個推薦規(guī)程（RP針對潔凈室設(shè)計中需要考慮的有關(guān)因素提出建議。這個論述僅限于那些潔凈室設(shè)計者和用戶經(jīng)常會遇到的環(huán)境條件。

    這個修訂文件――IEST-RP-CC012.2和原來的文件一樣，由兩個主要部分組成：規(guī)劃和設(shè)計要求。這個新文件是在原來的推薦規(guī)程（RP）基礎(chǔ)上做了大量的修訂和更新，并且增加了幾個新題目。

這個新文件包括了對防火、空氣過濾、空氣分子污染（AMC）、工廠自動化、工廠監(jiān)控和關(guān)閉工廠的論述。它對原來的微環(huán)境、供電和潔凈室建筑規(guī)程都作了重大的擴充。在噪音、振動和污染控制部分也作了更新，不僅包含現(xiàn)有最新的標(biāo)準(zhǔn)，還預(yù)測了未來的標(biāo)準(zhǔn)。

    在規(guī)劃部分還增加了維護(hù)、備用設(shè)備、改造、靈活性、生物工程學(xué)和能源效率等特殊需求的論述。
IEST-RP-CC012.2對所有行業(yè)的潔凈室所有者、使用者、設(shè)計者和建造者都很重要。
我們一起來近距離地看看這個新文件。

規(guī)劃
規(guī)劃部分適用于目前的潔凈室用戶和那些有計劃使用潔凈室的用戶。它用合乎邏輯的程序來引導(dǎo)用戶，這個程序明確了項目的要求，并且提出一套實現(xiàn)這些要求的方法。這部分使用W. Pena于上世紀(jì)80年代研究出來的方法，提供其他文件所沒有的信息來源。人們常說，如果把原來的IEST-RP-CC012.1的章節(jié)的主題標(biāo)題單獨拿出來并且去掉后面的論述，它和Pena的最初的工作一樣，是一個非常完整的潔凈室設(shè)計清單。這個新文件包括了原來所有的內(nèi)容并且增加了幾個新章節(jié)。

規(guī)劃部分首先回顧了制造過程和制定用來確定生產(chǎn)布置的效用圖表。這個效用圖表還可以用來確定與制造工藝有關(guān)的污染控制、人身安全和環(huán)境問題。

這部分提供污染物控制的指導(dǎo)方針，它把各種類型的污染物分門歸類并且列出用來減輕污染的常用方法。它包括了關(guān)于人生安全和環(huán)境的問題、關(guān)鍵物流、場地選擇標(biāo)準(zhǔn)、安全和進(jìn)出控制和政府管理方面的論述。

IEST-RP-CC012.2在規(guī)劃部分引進(jìn)一些新題目，包括防火、特殊要求和能源效率。特殊要求部分非常有用，因為它包含了在設(shè)計過程中常常被忽視掉的一些問題。這些問題包括維護(hù)能力、借用設(shè)備、靈活性等。能源效率提出降低能源消耗的建議，而且還提供通過實際案例研究得到的數(shù)據(jù)。

還有一個新章節(jié)，它涉及現(xiàn)有設(shè)備的改造問題。它回顧了對現(xiàn)有潔凈室進(jìn)行改造的物流問題和以后對運行的影響。
這個文件的規(guī)劃部分還包括生物工程學(xué)、預(yù)算和進(jìn)度方案。

設(shè)計要求
IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項目需求和開發(fā)基礎(chǔ)設(shè)計，這部分關(guān)于設(shè)計需求的論述增加了關(guān)于工藝的細(xì)節(jié)。我們在這里找到關(guān)于各種工廠系統(tǒng)的論述，并且它們可能最適合在最終的設(shè)計中使用。這部分首先回顧了潔凈室中氣流模型的類型：單向氣流、非單向氣流和混合氣流，并且提供關(guān)于各種氣流模型的使用指導(dǎo)。它還論述了關(guān)于如何保持理想的氣流模型的建筑布置。

這個章節(jié)是關(guān)于氣流的指導(dǎo)方針，已經(jīng)作了更新并且擴大了范圍，它包含新版的建議氣流速度表。無論提供的怎樣的數(shù)據(jù)，它總是會引起激烈的爭論。人們希望新版本能夠做和老版本一樣的事情?？諝膺^濾部分回顧了在線過濾器和終端過濾器兩種產(chǎn)品并且列出了適當(dāng)?shù)臏y試標(biāo)準(zhǔn)。http://www.iwuchen.com/

原文件的核心部分――HVAC系統(tǒng)構(gòu)成，在修訂后的文件中仍然保留，并且提供關(guān)于溫度、濕度、壓力和排風(fēng)方面的討論依據(jù)。這部分描述了由排風(fēng)決定的系統(tǒng)、由冷卻決定的系統(tǒng)和潔凈度分類決定的系統(tǒng)，并且向用戶提供關(guān)于哪個系統(tǒng)才是最適合的必要的信息。

文件分別提供溫度、濕度、壓力和排風(fēng)的指導(dǎo)方針、認(rèn)證要求和設(shè)計參數(shù)，通過詳細(xì)說明HVAC標(biāo)準(zhǔn)來指導(dǎo)用戶達(dá)到項目的具體要求。

增加了新的章節(jié)，它涉及檢驗空氣分子污染（AMC）和用來控制空氣分子污染的系統(tǒng)。它將AMC控制和HVAC系統(tǒng)整合在一起，這樣能夠把必要的設(shè)計元素結(jié)合起來。

關(guān)于噪聲和振動的章節(jié)已經(jīng)更新完成，它包括現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)。特別值得注意的是，它引進(jìn)了兩個新的振動標(biāo)準(zhǔn)曲線：VC-F和VC-G。雖然這個新標(biāo)準(zhǔn)還沒有得廣泛的使用，但是對某些應(yīng)用來說非常重要，比如納米技術(shù)。
關(guān)于潔凈室電力部分的范圍擴大很多，包括備用設(shè)備、安全、應(yīng)急用的電力系統(tǒng)和備用電力系統(tǒng)等問題。它還論述了靜電干擾和潔凈室照明問題。

關(guān)于人身安全的章節(jié)現(xiàn)在包括關(guān)于有毒氣體監(jiān)視系統(tǒng)和檢漏的論述。
自IEST-RP-CC012.1第一次出版至今，微環(huán)境技術(shù)已經(jīng)取得很大的進(jìn)步。因此，關(guān)于微環(huán)境部分的章節(jié)增加了許多，并且把重點放在微環(huán)境和建筑系統(tǒng)的整合上。“IEST-RP-CC028.1：微環(huán)境”中的內(nèi)容已經(jīng)加入如何幫助用戶根據(jù)具體用途來確定使用什么類型和結(jié)構(gòu)的微環(huán)境。

許多新的和現(xiàn)有的工廠在他們的設(shè)計中加入自動化系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的工廠整合和運行建議非常重要。IEST-RP-CC012.2關(guān)于工廠自動化的章節(jié)提供了關(guān)于這些系統(tǒng)使用和整合方面的指導(dǎo)。

許多現(xiàn)代化潔凈室工廠包含有專門用來提供與操作參數(shù)有關(guān)的實時信息的工廠監(jiān)視系統(tǒng)。這些參數(shù)包括溫度、壓力、濕度和空氣微粒的等級。這個新文件詳細(xì)描述了這些系統(tǒng)并且提供關(guān)于所使用的系統(tǒng)類型的指導(dǎo)性意見。
許多工廠老化或者技術(shù)落后，需要讓它們退役，這就是關(guān)閉工廠程序。這個程序提供經(jīng)濟上、環(huán)境上和人身安全方面的建議。IEST-RP-CC012.2提供與工藝、工廠和建筑部件有關(guān)的關(guān)閉工廠的指導(dǎo)。

人們把潔凈室建筑規(guī)程作為成功的潔凈室項目的基礎(chǔ)。 IEST-RP-CC012.2回顧了執(zhí)行這樣一個計劃的規(guī)劃、物流保障和程序等方面的要求。它回顧了外界隔離、進(jìn)出控制、培訓(xùn)和不間斷清潔等方面的要求。這個RP的附錄包括一個的潔凈室建筑規(guī)程計劃的例子，適合用戶使用或改進(jìn)。

長期以來，“IEST RP 12.1：設(shè)計潔凈室時要注意的問題”已經(jīng)成為潔凈室規(guī)劃和設(shè)計最主要的工具。這與提供食譜不同，它引導(dǎo)用戶通過仔細(xì)考慮關(guān)于規(guī)劃和設(shè)計方面的問題，通過開發(fā)能夠滿足具體需求的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)來協(xié)助用戶和設(shè)計人員。IEST-RP-CC012.2保留了許多原有內(nèi)容，在此基礎(chǔ)上對原有內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說明，提供更多的內(nèi)容并且更新設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)。這個文件是與潔凈室規(guī)劃和設(shè)計有關(guān)的基礎(chǔ)讀物。

作者簡介
本文作者M(jìn)ichael A. Fitzpatrick是McGill潔凈室系統(tǒng)公司副總裁，他從事半導(dǎo)體工廠的設(shè)計與建造超過27年。他是環(huán)境科學(xué)與技術(shù)學(xué)會的高級會員，擔(dān)任“WG-CC012：潔凈室設(shè)計中需要考慮的問題”和“WG-CC0028：微環(huán)境”的主席。他是IEST的副主席。電子郵件：fitz@mcg-illcleanroom.com。

IEST簡介
環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會（IEST）成立于1953年，是一個國際非贏利性的技術(shù)組織，由工程師、科學(xué)家和教育家組成，他們通過教育和發(fā)展推薦規(guī)程和標(biāo)準(zhǔn)同時為IEST的會員和自己所代表的行業(yè)（地球和太空環(huán)境的模擬、測試、控制和教學(xué)）服務(wù)。IEST是一個美國國家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)組織、“ISO/TC 209：潔凈室和有關(guān)聯(lián)的控制環(huán)境”的秘書處、美國國家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“US TAG到ISO/TC 209”的管理機構(gòu)、美國國家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“US TAG到ISO/TC 142：空氣和其他氣體的清凈設(shè)備”的管理機構(gòu)和美國國家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“TAG到ISO/TC 229：納米技術(shù)”的創(chuàng)始會員。